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跟踪分析 – SIMS、ToFSIMS 和 ICPMS

跟踪分析使我们能检测到极低浓度中的杂质,并能在质量控制程序中发挥至关重要的作用。 因为在半导体器件生产中,即使非常微量的污染物也能降低产量,甚至导致故障,所以跟踪分析至关重要。

SGS 的跟踪分析作为质量控制制造的基本组成部分,能提供值得信赖的专业服务。 我们经验丰富的员工使用高性能设备来精确跟踪可能引起产品故障或降低可靠性的杂质。 我们通过以下方法执行高敏感测试程序:

  • 二次离子质谱法 (SIMS) – 确定极低浓度中的杂质 
  • 飞行时间二次离子质谱法 (ToF–SIMS) – 探测表面杂质
  • 以气相分解 (VPD) 或包提取方法 (PEM) 为支撑的电感耦合等离子体质谱法 (ICPMS) – 对众多元素高度敏感

联系 SGS,了解我们的跟踪分析如何提高产品质量和可靠性。

相关服务

  • 通标标准技术服务有限公司 北京总部

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