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掺杂分布中的变化可影响微电子器件的工作。 SGS 掺杂分析可为您提供所需的所有信息,确保产品具有正常工作所需的正确掺杂浓度。

在半导体技术中,掺杂物是一种添加在基板或层中的微量元素,用以确定其传导性。 掺杂是半导体工业中的主要工序之一。 掺杂分布中的微小变化会大幅度影响微电子器件的工作,因此有必要确保生产过程中在分布中使用正确的量。

SGS 掺杂分析可提供您所需的所有信息,确保产品拥有正确的掺杂浓度并能够正常运行。

SGS — 可信赖的提供商

我们位于德累斯顿 (Dresden) 的研究所是微电子学服务年限最长的实验室之一。 我们的研究所提供最高品质服务,业绩记录良好。 我们实行:

  • 使用次级离子质谱分析法(经典动态 SIMS 和 TOF-SIMS)进行掺杂和杂质的深度分析。 
  • 我们也使用以下方法测量电性活化掺杂:
    • 展阻量测分析法 (SRP)
    • 二维分析扫描探头技术

SIMS 和 SRP 高度敏感,提供高动态范围。 它们也可很好地互相补充。

联系 SGS,了解我们的掺杂分析服务如何为您的业务提供帮助。